液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家在现行标准《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001中等同采用《洁净室及相关受控环境篇》ISO 14644-1中有关洁净室及相关受控环境空气中悬浮粒子洁净度级别划分。
3.2.2、3.2.3 电子产品的种类繁多,随着微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠的电子产品品种的增加,液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家需要在空气悬浮粒子受控环境中进行全过程生产或部分生产的电子产品主要有:各种半导体材料及其器件生产、集成电路生产、化合物半导体生产、光电子生产、薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liguid Crystal Display,简称TFT-LCD)生产、微硬盘驱动器(Hard Disk Driver,简称HDD)生产、等离子显示器(Plasma Display Panel,简称PDP)生产、磁头和磁带生产、光导纤维生产、液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家印制电路板等。
各类产品的品种不同、生产工艺不同,所要求的空气洁净度等级也不相同。液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家因此第3.2.2条规定各种电子产品用洁净厂房设计时,生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定;当在设计时,业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时,可参照本规范附录A的要求确定。液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家在附录A所列要求中,由于各种产品生产工艺都各不相同,所以对于空气洁净度等级、控制粒径均列出一定的范围供参考,为说明这些差异,下面列举一些工程的实例供参考。
1 表4~表6分别列出8″和4″、5″硅单晶及硅片加工、液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家集成电路的芯片制造、TFT-LCD生产所需的空气洁净度等级、温度、湿度的实例。
等离子显示器(PDP)生产用洁净厂房:液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家涂屏间等:5.5级、25±2℃,50%±10%;其他生产间:6.5~8级、20~26℃、55%±10%。
3.2.4 现代电子产品生产的重要特点之一,液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家在许多电子产品的生产过程中需使用高纯水、高纯气体和高纯化学品,且各类电子产品生产时,因品种不同、产品生产工艺也不同,对高纯物质的纯度、液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家杂质含量的要求不同,它们之间差异很大。表9是中国电子级水的技术指标,表10是ASTMD5127电子及半导体工业用纯水的水质要求,表11是TFT-LCD生产用纯水水质要求,液氨双防罐设备厂家,液氯双防罐制造厂家表12是一个8″集成电路芯片制造用高纯水水质要求。
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